作为自动驾驶所需的LiDAR等3D传感技术的光源，半导体激光器的市场变得活跃起来变压器制造工艺 。其中之一是具有小型化、节能等优点的VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser），下面介绍面向VCSEL的干法工艺。
VCSEL制造工艺
1. 外延生长
在GaAs（砷化镓）衬底上变压器制造工艺 ，通过分子束外延生长由
多个周期的AlGaAs(砷化铝镓)/GaAs层堆叠在一起的
AlGaAs/GaAs系DBR（分布反射型Distributed
Bragg Reflector）变压器制造工艺 。
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2. Patterning＆Mask形成
为了将外延层做成被称为 Mesa 的圆柱形，制作一个掩模图案变压器制造工艺 。
3. Mesa加工
用干法蚀刻进行Mesa加工变压器制造工艺 。
4. 氧化狭窄＆保护膜形成
活性层附近设计的特定AlGaAs层通过湿法氧化而氧化狭窄
（氧化狭窄层作为电流和光的封闭结构变压器制造工艺 ，
成为影响VCSEL特性的非常重要的层）变压器制造工艺 。另外，沉积Mesa侧壁保护膜。
5. 电极形成
n型、p型电极形成变压器制造工艺 。